项目名称:新型电力系统用高压大功率半导体IGCT器件
- 清华四川能源互联网研究院,清华大学
- 四川省成都市湖畔路北段366号天府新经济产业园A区
- 610299
- 孙鑫
- 17761285280
- http://www.tsinghua-eiri.org/
姓名 |
刘佳鹏 |
电话 |
18811362403 |
电子邮件 |
18811362403@163.com |
区号 |
010 |
邮编 |
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通信地址 |
清华大学高压馆305 |
曾 嵘 余占清 吴锦鹏 赵 彪 陈政宇 周文鹏 任春频 庄池杰 屈 鲁
专利类型 |
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专利状态 |
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申请号 |
授权日期 |
授权专利号 |
CN201811101665.6 |
2021-01-05 |
ZL201811101665.6 |
CN202210532868.0 |
2022-09-09 |
ZL202210532868.0 |
CN201510119436.7 |
2017-07-18 |
ZL201510119436.7 |
CN201822218487.7 |
2019-10-29 |
ZL201822218487.7 |
集成门极换流晶闸管(IGCT)是一种新型高压大容量功率半导体器件,具有耐受电压高、通流能力强、高可靠低成本等特点,契合柔直换流阀、直流断路器、直流变压器、风机变流器等能源装备迈向更大容量的发展需求,是功率半导体器件发展的重要新方向。然而,IGCT技术壁垒高、供货商单一,国际上仅有ABB、西门子等电力装备公司将其应用于大功率工业传动领域,国内鲜有IGCT器件制造及应用厂家,导致器件优化迭代缺乏动力,在电网应用还存在技术瓶颈。
本项目由清华大学和清华四川能源互联网研究院主导开发,面向新能源和直流电网领域,研制了具有自主知识产权的国产化高压大功率半导体IGCT系列产品,并提出了IGCT在新能源发电、直流输配电、储能等电力装备应用的创新解决方案,可解决低碳新型电力系统高比例新能源接入、高比例电力电子装置的重大需求,大幅提升交直流转换和功率调节的容量、效率和可靠性,并降低成本。项目成果突破了国外对我国高端能源装备用半导体器件的技术垄断,实现了核心器件-关键装备-新型电力系统的全链条国产化。
本项目提出了新型IGCT器件的芯片设计与制备方案、驱动控制与保护方法,研制出4.5~8.0kV/3~10kA系列化IGCT-Plus产品,具有更高功率等级、更低损耗、更大关断电流、更高可靠性,实现了IGCT器件在高压大容量电力装备应用的技术突破。
与此同时,本项目提出了基于IGCT器件的诸多电力电子装备解决方案,包括交直流换流阀、直流断路器、直流变压器、风机变流器、储能四象限调节系统、制氢电源等,提出了大规模新能源汇集、源网荷储一体化低碳园区智慧能源系统、基于柔直互联的城市新型电力系统等新型电力系统解决方案,以装备和系统应用牵引器件开发,以器件更新推动装备和系统创新,从而最大程度发挥IGCT器件特性优势,实现整体系统集成性能最优。
项目成果于2019年通过了中国电机工程学会技术鉴定,达到国际领先水平,并获得了2021年中国电力科学技术发明奖一等奖、 IET 2021 E&T(未来电力与能源领域)创新奖、第48届日内瓦国际发明展金奖和银奖、第二十三届中国专利优秀奖等。目前项目开发的IGCT器件及装备产品已应用于多个新型电力系统工程,包括珠海“互联网+”智慧能源示范项目、国家重点研发计划示范工程(东莞)等,创造营收数千万元。
IGCT器件导通压降低、浪涌电流大、抗干扰能力强、可靠性高,是新型电力系统应用的优选器件,但此前国内外研究情况,无法满足新型电力系统应用的需求。本项目对IGCT的物理机理模型、参数优化、性能调控、新型驱动、集成应用等关键技术进行研究,研制新型电力系统用IGCT-Plus系列化产品并实现工程应用,主要创新点如下:
【创新点1】:建立了高精度快速求解的GCT芯片物理机理模型,提出了GCT芯片的参数优化及性能调控方法,电流不均匀分布系数降低10%以上,关断能力提高30%以上。
【授权知识产权:附件2.1《实新专利-具有高阻断电压与高电压冲击耐受力的GCT芯片》】
综合考虑基区少数载流子寿命的不均匀分布、耗尽区的碰撞电离、穿通过程中变化的存储电荷边界和电场扫出电荷效应,建立了GCT单元紧凑型物理仿真模型,可精确预测GCT单元的动态特性,仿真时间由有限元仿真模型的小时级缩短至秒级,为IGCT的参数优化和性能调控奠定了理论基础。基于紧凑型物理机理模型,采用启发式禁忌搜索方法,优化了GCT单元的纵向掺杂结构与横向排布,满足高di/dt(电流变化率)耐量的前提下,电流不均匀分布系数降低10%以上,单元胞电流关断能力提高33%以上。
【创新点2】:提出了GCT芯片的关键制备工艺优化方案和缺陷检测方法,简化了工艺流程,缩短了GCT芯片迭代周期。
【授权知识产权:附件2.2《发明专利-一种晶闸管元胞特性测试方法》】
改进了硼、磷杂质的扩散工艺,简化了铝离子注入工艺流程,有效降低了芯片的生产成本,缩短加工周期达到5天以上;研制了GCT自动探针测试平台,可快速检测GCT芯片表面缺陷,清晰辨别缺陷类型,指导工艺改进,缩短了迭代周期。
【创新点3】:提出了GCT新型门极驱动方案,大幅提高IGCT器件在新型电力系统应用中的可靠性,减小设计难度。
【授权知识产权:附件2.3《发明专利-一种可关断晶闸管驱动电路及控制方法》】
提出了降低门极驱动杂散阻抗优化方法,门极杂散电感从0.4nH降低至0.04nH;提出了基于隧道磁阻电流传感单元和门阴极主动短路方法的管理策略,实现了IGCT-Plus器件的过电流保护和黑启动的智能管理功能。
【创新点4】:成功研制了新型电力系统用IGCT-Plus系列化产品,并且成功应用于多种应用场景中。
【授权知识产权:附件2.4《发明专利-一种应用于混合式直流断路器的门极换流晶闸管芯片》】
成功研制了新型电力系统用4.5~8.0kV/3~10kA系列化IGCT-Plus产品,开展了系统性测试验证,IGCT-Plus在效率、可靠性和成本等方面具有显著优势,并且成功研制了基于IGCT的交直流换流阀、直流断路器、直流变压器、风机变流器、储能四象限调节系统、制氢电源等电力电子设备。目前项目开发的IGCT器件及装备产品已应用于多个新型电力系统工程。
一、应用情况
基于本项目成果,清华大学、清华四川能源互联网研究院与株洲中车时代半导体有限公司,联合成功研制出非对称型新型电力系统用IGCT-Plus 系列化产品,电压电流等级覆盖4.5~8.0kV/3~10kA。
并与山东泰开直流技术有限公司、北京电力设备总厂有限公司、北京四方继保自动化股份有限公司、西安西电电力系统有限公司等企业开展合作,研制出高中低压系列化直流断路器、世界首台柔直输电用IGCT-MMC阀、目前世界最大容量的直流变压器、国内首台160kV海上风电直流耗能装置等直流电网关键设备,应用于高压直流输配电、海上风电、储能、抽水蓄能、制氢电源等场景。目前应用了IGCT的珠海唐家湾国家首批“互联网+”智慧能源示范项目、国家重点研发计划(东莞)数据中心直流配电工程、三峡乌兰察布新能源基地和“源网荷储”示范工程等已成功投运。
二、经济效益
目前项目团队与上述企业均开展了基于IGCT的装备解决方案与工程应用方案合作。近三年来,项目团队通过技术开发、技术转让(实施许可)、技术服务等方式,获得直接经济效益约5000万元(支撑材料见附件)。
随着双碳目标推进和低碳能源结构转型,能源领域电力电子装置的电压、电流等级快速提升,亟需更高电压、更大容量、更强可靠性的高压大功率半导体器件。IGCT器件符合上述应用场景对功率器件需求的发展趋势,预期到2025年,高压大功率半导体市场规模总计将超过50万只/年,即约100亿元/年。因此,IGCT在新型电力系统装备的新兴市场的应用推广拥有巨大前景。
三、社会效益
本项目所发明的国产自主化IGCT系列化产品,将打破国外对于高压大功率半导体器件的垄断,大幅提升功率半导体器件国产替代水平,增强功率半导体产业的国际竞争力;将补全我国电工能源装备制造全产业链的不足,引领高端能源装备制造产业的升级发展,助力新能源大规模高效利用,支撑我国“3060”碳达峰和碳中和战略目标;将培育形成功率半导体器件一流的人才队伍,构建功率半导体器件优越的研发生态。